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SF6 气体的质量标准

2015-3-16 20:00:39      点击:

杂质名称

IEC标准

我国暂行标准

空气(氮、氧)

0.05(重量比)

0.25(体积比)

0.05

CF4

0.05(重量比)

0.1(体积比)

0.05

15ppm(重量比)

8ppm

游离酸(HF表示)

0.8ppm(重量比)

0.3ppm

可水解氟化物(HF表示)

1.0ppm(重量比)

1.0ppm

    

10ppm(重量比)

10ppm

SF6纯度

 

99.8